近年来，客户的扩产需求显著增强。“过去的采购通常只有一两台设备，如今则转向批量订购，十几甚至二十台的案例屡见不鲜。”在2026湾芯展上，中微公司资深副总裁丛海分享了国产半导体设备订单的积极变化。中微公司是国内领先的半导体刻蚀设备制造商，自2004年由曾任美国应用材料公司副总裁的尹志尧带领团队归国创立以来，就专注于等离子体刻蚀领域。这家公司如今已经成长为国产刻蚀设备的领导者，截至2026年6月底，其设备反应台数量超过8800个，应用于国内外220多条生产线。

刻蚀工艺是芯片制造中不可或缺的一环，主要是通过移除晶圆上的材料以形成设计所需的微小结构。在刻蚀完成后，才能进行接下来的薄膜沉积等工序。近几年，国产刻蚀设备的市场份额逐步扩大，中微和北方华创等企业成为了行业的重要代表。在人工智能计算需求激增和国产替代的推动下，中微公司在2025年实现了123.85亿元的收入，同比增长36.62%。据了解，该公司的CCP刻蚀设备已经在5纳米及以下工艺中得到应用。近年来，中微公司进一步实施平台化战略，拓展至薄膜沉积、量测等相关领域。未来五年内，中微计划在集成电路高端设备和先进封装设备的市场中，覆盖超过60%及70%的比例。

在10月14日开幕的湾区半导体产业生态博览会上，丛海接受了专访。他表示，存储厂的扩产趋势正推动国产设备从小规模验证向批量采购转型，中微的下一阶段增长将更多来自于薄膜设备和平台化的布局。